Fundamentals of microelectrinics processing / ; By Lee, Hong H.

Copyright:1990
ISBN:0070370567
LCCN:TK7874.L34
Publisher:Singapore : McGrew-Hill Inc.,
Physical Details: XVI, 514 p., [7]p. di tabelle : ill. ; 24 cm.
Notes:incluse bibliografia e indice
Record No.:10842
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Books edifico 6 Istituto di chimica e tecnologie inorganiche e dei materiali avanzati 2010-04-13 ICTIMA3163